寶德8712型大流量氣體質(zhì)量控制器

寶德8712型大流量氣體質(zhì)量控制器(MFC)適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成PI控制器，令MFC具備的控制特性。8712型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，也提供現(xiàn)場(chǎng)總線。8712型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。憑借良好的IP防護(hù)等級(jí)，使得該款質(zhì)量流量控制器尤其適合惡劣環(huán)境中的應(yīng)用。

寶德8712型大流量氣體質(zhì)量控制器主要特點(diǎn)：
標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN / min至80 lN / min
測(cè)量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
防護(hù)等級(jí)IP65
選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口

技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時(shí)間：<300秒
重復(fù)性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準(zhǔn)氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
氣體溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時(shí)間：<3秒準(zhǔn)確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分鐘預(yù)熱時(shí)間后）
額定流量值是大值，可以控制的流量值被校準(zhǔn)，該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍（滿量程值）。
指數(shù)N：流量相對(duì)于1.013巴和0℃。另外還有一個(gè)指數(shù)S可用，指的是1.013巴和20°C

測(cè)量原理：
實(shí)際流量由傳感器檢測(cè)。 這根據(jù)熱原理運(yùn)行，該熱原理具有提供獨(dú)立于壓力和溫度的質(zhì)量流的優(yōu)點(diǎn)?？倸饬鞯囊恍〔糠直晦D(zhuǎn)移到小的，特別設(shè)計(jì)的旁路通道whitchensures層流條件中。傳感器元件是芯片 浸入該流道的壁內(nèi)。 MEMS技術(shù)生產(chǎn)的芯片包含一個(gè)加熱電阻器和兩個(gè)溫度傳感器（熱電堆），它們?cè)诩訜崞鞯纳嫌魏拖掠螌?duì)稱布置。熱電堆的差分電壓是通過(guò)流量傳感器的質(zhì)量流量的度量。 校準(zhǔn)過(guò)程實(shí)現(xiàn)了傳感器信號(hào)與通過(guò)設(shè)備的總流量的分配。