寶德8713型采用數(shù)字通信的流量控制器

寶德8713型采用數(shù)字通信的流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成PI控制器，令MFC具備的控制特性。8713型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設(shè)備的通信*采用數(shù)字形式，這樣一來，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。

寶德8713型采用數(shù)字通信的流量控制器主要特點：
標稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
通過 RS485 進行數(shù)字通信
緊湊型版本

技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時間：<3秒
重復(fù)性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C
介質(zhì)溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
建立時間：<3秒準確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分鐘預(yù)熱時間后）
指數(shù)N：流量相對于1.013巴和0℃。另外還有一個指數(shù)S可用，指的是1.013巴和20°C
額定流量值是大值，可以控制的流量值被校準，該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍（滿量程值）。

測量原理：實際流量由傳感器檢測，這根據(jù)熱原理運行，該原理具有輸送質(zhì)量流量而不需要對所需壓力或溫度進行任何校正的優(yōu)點。總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到專門設(shè)計的小型通道中，以確保層流條件。傳感器元件是浸入該通道壁中的芯片。該芯片包含一個加熱抗體和兩個溫度傳感器（熱電堆），它們對稱地布置在加熱器的上游和下游。熱電堆的差分電壓是通過該旁路通道的質(zhì)量流量的度量。校準程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器信號與通過設(shè)備的總流量的分配。

選擇單位注意事項：為了正確選擇MFC內(nèi)的執(zhí)行器孔口，不僅需要獲得大流量，而且還應(yīng)該知道在此流量下的MFC（p1，p2）之前和之后的壓力值。通常，這些壓力是與整個設(shè)備的整體入口和出口壓力不一樣，因為通常在控制器之前和之后都有附加的流量電阻器（管道，附加截止閥，噴嘴等）。如果這些數(shù)據(jù)應(yīng)該是未知的或不能被測量使用，則估算應(yīng)分別考慮流量電阻在MFC前后的近似壓降。