寶德8711型氣體質(zhì)量流量控制器

寶德8711型氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口，既提供模擬標準信號，也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。

寶德8711型氣體質(zhì)量流量控制器主要特點：
標稱流量范圍從 0.01 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
選配：現(xiàn)場總線接口
技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時間：<3秒
重復(fù)性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
介質(zhì)溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時間：<3秒準確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分鐘預(yù)熱時間后）
額定流量值是大值，可以控制的流量值被校準，該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍（滿量程值）。
指數(shù)N：流量相對于1.013巴和0℃。
另外還有一個指數(shù)S可用，指的是1.013巴和20°C
工作原理：
主通道中的層流元件產(chǎn)生小的壓降，這通過旁路（傳感器管）驅(qū)動與主流成比例的小流量，兩個連接在測量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。 在零流量狀態(tài)下，橋是平衡的，但是隨著流量的增加，熱量沿流動方向傳輸，橋變得不平衡。測量的動態(tài)受到作為熱障的管壁的限制。 通過在控制器中使用合適的軟件，可以獲得適用于各種應(yīng)用的響應(yīng)時間（在幾秒鐘的范圍內(nèi)）。對于受污染的氣體，我們建議在上游安裝過濾器元件。 這樣可以避免主流量和傳感器管子之間的分配比率的變化，以及由傳感器管壁上的沉積物引起的傳熱變化。